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可撓式光電薄膜感測器元件之製程整合特性研究

藉由物理. 機制與缺陷分布的釐清，將可調變製程參數來最佳化薄膜品質與缺陷狀. 態，得到最佳的非晶矽PIN 感測器效能。 關鍵詞：光偵測器、非晶矽、撓曲. Page 4. 2.

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