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光學鍍膜設備
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0.1nm!央視:國內首台光鏡鍍膜設備投用,光刻機的最後一塊 ...
根據零部件效力程度劃分,EUV光刻機共分三個核心部件:雙工件台、EUV光源、EUV光學鏡頭。本期為大家帶來的是:0.1納米以下,中科科美正式投用的直線式勞 ...
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