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多光束分光繞射光學元件(DOE)之設計(The Design of Multi ...

由於近幾年來的光學領域也開始走. 向微光、機、電集成的整合系統，再加上半導體製. 程技術的進步，使得採用折射與反射式原理，以機. 械式的研磨拋光等來製做的傳統光學元件 ...

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