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薄膜光學特性之分析模組技術-機械工業雜誌-出版品-新聞中心

除了傳統採用石英振盪式膜厚監控系統監測鍍膜速率與膜厚變化外，我們開發具有高準確性的光學薄膜檢測方法來監控薄膜特性的變化，此法具有量測速度較快、非接觸薄膜表面 ...

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