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TWI540306B - 光學特性測量裝置及光學特性測量方法

具體而言，光學特性測量裝置100係在試料上照射光，並且依據利用該試料予以反射的反射光之波長分布特性(以下也稱為「光譜」。)，可以測量構成試料之膜的膜厚及光學常數(折射 ...

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