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光學讀取頭都普勒干涉視準量測系統 - 智財技轉處

本系統之線性位移檢測能力，與干涉儀或光學尺、電容式位移計、渦電流式位移計以及 ... 及回授之裝置，且本系統之檢測機制原理，等同於都普勒干涉儀及自動視準儀原理， ...

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