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【光學膜厚量測】『顯微分光法』與『橢圓偏光法』有什麼不同?

原理 比較 · 反射分光膜厚量測. 反射分光法也稱為光干涉法，搭載光譜儀的反射架構下，由反射率進一步求得光學膜厚。主要利用上圖R1(膜層表面的反射)以及R2(膜層介面的反射)兩 ...

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