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微光學元件之製作與量測 - 崑山科技大學eportfolio 登入頁

利用LIGA-like 製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作， ... 第三章、微光學元件之設計與製作. ... 本文中介紹的新穎LIGA-like 微加工技術，目前已整合在.

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