技術原理 · 分析應用 · 機台種類 · 應用實例 · 圖2 單層薄膜厚度量測(SiO2:316.38nm) · 圖3 多層薄膜厚度量測(Si:614.2nm / W:54.63nm / Si3N4:122.4nm) · 常見問題 · Q1.
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