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其中被用來製作抗反射塗佈及DUV薄膜的氟聚合物 ...

薄膜的穿透率取決於薄膜厚度、抗反射塗佈的類型、薄膜材質對光的吸收度及晶圓曝光機或步進機所使用的光源波長，硝化纖維素(nitrocellulose)是最初被採用的薄膜材質而且 ...

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