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提高底層樹脂材料與載台的接著性的普遍作法為，底層(數層)的光照時間加長使光敏樹脂較高程度的固化。但此方法伴隨光罩邊緣光暈因時間拉長，擴大了固化範圍的底層肥邊 ...

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