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Nikon、Canon 日系光刻機為何被後起之秀ASML 超越？

半導體製程的光刻機為用一塊極精細圖案的玻璃底板，透過高性能的縮小成像鏡頭，對塗有感光材料的矽片進行強烈雷射照射的自動化曝光設備。這塊矽片通常叫晶 ...

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