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韩国EUV光刻胶获得大突破- 电子元件 - 半导体行业观察
2019年日本出口法规出台后,韩国东进半导体加快了EUV PR的发展,利用自身现有的氟化氩曝光机、比利时半导体研究所IMEC EUV设备等基础设施,开始了EUV PR的 ...
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