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光刻機曝光機
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台灣自研自製曝光機進軍世界!儀科中心輔助本土設備 ... - 報橘
成功大學機械系教授李永春則利用科技部「新型態產學研鏈結計畫-價創計畫」開發高精度無光罩式曝光機。李永春指出,台灣從台積電7 奈米製程到封裝、載板、 ...
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