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光刻機，國產晶片揮之不去的痛 - 每日頭條

光刻機 /曝光機（英語：MaskAligner）是製造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備。可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的ContactAligner ...

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