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光刻機曝光機
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中國有沒有必要舉全國之力,去造一臺光刻機? - 日日新聞
光刻機 (英文“Mask Aligner”) ,又名掩模對準曝光機,是晶片製造流程中光刻工藝的核心裝置。晶片的製造流程極其複雜,我們可以概括為幾大步驟:矽片的製備 ...
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