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光刻機曝光機
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想了解億元光刻機的發展歷史,看這一篇就夠了 - 壹讀
2019年,尼康總共銷售了47台光刻機,占全市場的13%,還不如自己的難兄難弟 ... 機,推出EX3L和5L步進機;ASML推出FPA2500,193nm波長步進掃描曝光機。
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