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光学巨头佳能、尼康的共同劲敌，高端光刻机市场龙头老大

下游需求旺盛，上游技术亟待突破：光刻设备主要机台包括用于涂胶和显影的轨道机和对晶圆片施加射线光源的曝光机两部分，随着器件尺寸的不断缩小，光刻 ...

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