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光刻機曝光機
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以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用
電子束微影技術恰好能簡單達到此目的,它. 不管於半導體工業或奈米科技上都扮演相當重要的. 角色,是一項值得注意的技術。 電子束微影技術基本上是以電子束作為曝光光. 源 ...
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