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光刻機曝光機
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半導體產業不可或缺的曝光機,是「這些企業」的心血結晶!
因此,在去除抗蝕劑的剩餘部分後,光掩模圖案就出現在矽片中(或在施加抗蝕劑之前已沉積在矽片上的材料中)“ 雕刻” 出來。 曝光機的基本原理. △曝光機的 ...
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