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從專利看日本半導體光刻技術有多強 - 日經中文網

2021年9月28日 — 前製程當中的核心是光刻工序。根據以光刻設備燒製的電路圖切削基板、進行佈線，完成半導體晶片製造。日本特許廳的調查以光刻設備的 ...

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