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韓國本土開發首款EUV光刻膠通過三星可靠性測試 - 聯合報

2019年日本出台出口限制措施後，東進世美肯開始利用自己的基礎設施，如現有的氟化氬曝光機和比利時半導體研究所（IMEC）的EUV設備，將EUV光刻膠本土化 ...

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