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ASML新一代EUV光刻机拒绝跳票：找日本巨头技术驰援

日本 最大半导体成膜、蚀刻设备公司东京电子（东京威力科创，Tokyo Electron）宣布，将在镀膜/显影技术上与ASML合作，以联合推进其下一代NA EUV光刻机的 ...

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