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ASML不讓新一代EUV光刻機跳票找到日本巨頭技術救援

日本 最大半導體成膜、蝕刻設備公司東京電子（東京威力科創Tokyo Electron）宣布，將於鍍膜/顯影技術上與ASML合作，以聯合推進其下一代EUV光刻機的研發製造 ...

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