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日本廠商出手，不用EUV光刻機，也能生產5nm晶片？ - 資訊咖

眾所周知，在晶片生產過程中，光刻機是繞不過的設備，如果從整個生產來看，光刻機的成本占總設備成本的30%。所以一直以來，大家都在尋找其它辦法，比如不用EUV光刻機， ...

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