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具非晶矽覆蓋層的矽鍺MSM 光檢測器之研究魏忠信、黃俊達

摘要. 本實驗中主要是探討平面式金屬-半導體-金屬結構的光檢測器(Metal-Semiconductor-Metal Photodetector)，並使用具高能隙. 、高阻值及高吸收係數的非晶矽半導體 ...

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