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矽基光偵測器研製與整合於光學波導系統

本論文提出三種不同結構的850nm光源之矽基光檢測器(Si-based Photodetector)，不但有低溫(室溫)製程與製作簡易之優點，更可藉由調變薄膜厚度提升光偵測器之效能，並 ...

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