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新電子 09月號/2019 第402期 - 第 28 頁 - Google 圖書結果

另外,先進製程另一個重大變化是引進 EUV。Yang Pan表示,為了要繼續 ... 每個新的光刻都需要新的抗蝕劑、新的蝕刻製程等來定義圖案(Pattern)。當到了5奈米節點及以下時 ...

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