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雙圖樣微影 - 政府研究資訊系統GRB

本計畫為兩年期計畫，整個計畫目標在完成半導體微影覆蓋誤差先進製程批次控制開發 ... 而光學微影技術因使用光波長之限制，如何有效在半導體基板上定義出微小精準的圖 ...

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