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Lab7 元件製程規劃與模擬
本實驗所模擬之製程為表面聲波感測元件(SAW),其基本原理為藉由電壓激發壓. 電材料產生表面波,表面波由發射端電極(指狀電極;IDT)傳遞至另一接收端電極,.
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