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半導體製程設備 - 第 467 頁 - Google 圖書結果

各部分之作用為: 1.泵室, 2 .活塞, 3 .偏心輪, 4 .壓縮室, 5 .油浸壓力閥, 6 .油量指示管, 7 . > > > o 0 壓艙( ballast ). 第十一章真空泵和真空系統 467.

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