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歐傑電子能譜儀／Auger Electron Spectroscopy

與EDS成分分析深度差異在於EDS為um等級而歐傑電子為nm等級成分分析，因此對於表面分析是非常靈敏，可應用於析出物、氧化層或蝕刻分析等。 一、儀器設備說明.

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