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談光學標準尺的校正方法 - 台灣儀器科技研究中心

本文所述之校正方法，需將光學標 ... 光學標準尺亦稱玻璃尺，是一般精密儀器如三次元量床或工作母機之重要定位 ... 其校正原理係利用精密雙軸量測顯微鏡之工作平台.

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