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基于像散原理的并行共焦微结构形貌检测系统及信息处理技术研究- 博士

从光学三维相干成像理论出发,推导了基于像散原理的并行共焦系统相干衍射成像的数学模型,提出了基于远心光路的并行像散共焦检测系统的设计思路；证明了提高系统的放大 ...

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