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Airiti Library華藝線上圖書館_像散式讀取頭干涉現象探討與位移量測 ...

去除讀取頭物鏡所得的平行雷射光束，再配合半反射鏡與光干涉原理，像散讀取頭也可以在其投射面上創造出來干涉條紋。兩個光電感測器用來擷取反射鏡位移所產生的干涉條紋 ...

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