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基于像散原理的并行共焦检测的微形貌参数的可视化测量

为实现对微结构表面轮廓参数的精确测量,用基于像散原理的并行共焦检测系统获取微结构表面的三维信息,进而实现对微结构表面参数的可视化测量.考虑到微结构表面特点, ...

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