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基于差动像散原理的FPC质量检测光学测头的研究 - 中国地质图书馆

因此,实际生产中急需一种能测量非连续表面、且集表面微观形貌与小尺寸测量于一体的实时非接触测量系统。 课题“基于差动像散原理的FPC质量检测光学测头的研究”的目的就是 ...

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