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SEM测试成像原理与消像散 - 科学指南针

SEM测试成像原理与消像散 · 【摘要】 从电子枪阴极发出的电子束，经聚光镜及物镜会聚成极细的电子束（0.00025微米-25微米），在扫描线圈的作用下，电子束在 ...

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