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半導體產業營業秘密與智慧財產權之理論與實務

... 如圖 3.7(a)光罩(俯視圖)光阻曝光前基板(a)紫外光光罩(側視圖)光阻曝光基板(b)圖 3.6 (a)曝光前的 ... 但大多數人還是都統稱為光罩(英文也用 mask),不作特別區分。

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