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為10奈米以下線寬鋪路imec發表超低電阻合金研究成果

在近日舉行的2023年IEEE國際內連技術會議(IITC)上，比利時微電子研究中心(imec)展示其實驗成果，首次證實導體薄膜的電阻在12吋矽晶圓上，可超越目前 ...

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