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信越化學台積電
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光阻劑瑕疵
台積電 在2月15日發出聲明中,把矛頭指向某化學原料供應商。 ... 與EUV等不同光阻劑,光罩幾層攸關光阻劑用量多寡,供應商包括信越化學、東京應用化學與JSR等日商為主。
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