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保力達製造過程
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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊
除單晶生長製程外,其他的矽晶圓製造過程(如:研磨、拋光,圖3.1-4). 皆有可能因應力不當而造成矽晶圓破損片,一般可分為研磨前破片、研磨後破. 片以及拋光後破片,由 ...
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