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表面分析儀器

如結構示意圖所示，歐傑電子能譜儀必須裝置. 在超高真空環境內，主要的儀器組件為激發試片原. 子的電子槍與電子能量分析器，前者主要與分析平. 面解析度有關，後者則與能譜 ...

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