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pvd 製程物理氣相沉積(PVD) - Txbnx

... 25片式高真空除氣室置於EFEM左右兩側，藉由較長時間之高真空烘烤，事先將水氣等 ... 介紹二，NCVM 介紹三，PVD 與NCVM 常見的不良項目四，注意事項; A.何謂PVD？

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