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電漿源原理與應用之介紹

免短時間電流太大而產生的電弧放電。 圖12 各種氣體之崩潰電壓. 高壓電源之頻率為產生大氣輝光電漿之第三項重. 要因素。由於壽命較長之氦亞穩態分子與氦氣之中性.

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