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何謂超精密加工
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http://www.tami.org.tw/print/book-11-554/20021127.htm
奈米技術在機械設備領域之應用 - TAMI
科技小常識:何謂奈米科技? ... 當然微影超精密的加工也可以用LIGA 技術,所謂的LIGA 技術就是甪「微影加電束加模具即射出」等三個組合而成的技術,此一技術約在十年 ...
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