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微電子材料與制程【第九章氧化，介電層】

積體電路製程中，二氧化矽層的成長是一項不可或缺的步驟。 ... 這個製程的優點是沈積出的薄膜非常均勻，但它缺點是因為副產物含有氯化氫，會傷害到底下已成長好的 ...

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