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何謂28奈米製程技術 - 雅瑪黃頁網

奈米結構原子級薄膜製程技術—原子層沉積系統研發成功 ... ... 工程處於97 年度提供經費支持，建立適用於12 吋晶圓的ALD 鍍膜系統，除了挑戰大面積與高深寬比結構鍍膜研究，也 ...

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