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北美智權報第105期：原子層蝕刻技術從實驗室走入晶圓廠

然而與其相對應的製程，也就是原子層蝕刻技術（atomic layer etching, ... 持續改善ALD的生產速率讓ALD未來將會被應用在越來越多的新型薄膜製程中。

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