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何謂薄膜製程
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【解密台積電3】晶圓代工是什麼?圖解晶圓代工流程
步驟1 – 鍍上薄膜: 於矽晶片表面鍍上氧化層(或金屬)。 ... 而對於3 奈米製程這樣尖端的製程技術來說,曝光機的重要性就愈加突出,而能提供EUV 設備 ...
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